日本堀场HORIBA
实现对高纯度气体连续监测，主要应用于空分和半导体行业。
实现对高纯度气体中的痕量杂质气体 (CO, CO2 和 CH4) 的超高感度连续测量。
一般情况下，作为工业用气体使用的氧气，氮气是通过空气分离来制造的。
首先将除去水分和CO2的原料空气通入分离装置，分离装置时利用氮气、氩气和氧气三者气体的沸点不同进行分离出不同气体。
氢气和氦气也是利用类似的气体分离装置制备。
GA-370测量实例。高纯度氮气、氩气、氧气制造行业痕量气体的测定。
除去水分、CO2后原料气体中痕量气体的测量。
交替流动调制方式双光路非分光红外吸收原理
GA-370用一束红外光透过检测室射入检测器，测量过程中通过切换电磁阀将采用气体和参比气体切换通入检测室。
测量样气和参比气体使用相同的气体（例如零点气体）时，无法产生调制信号，因此不会产生漂移，解决了 痕量气体分析中的零点漂移宜问题。
而且使用双光路检测气室，以相反的相位导入测量样气和参比气体，可实现了长期安定稳定运行，无需光学调整。
制造: HORIBA
型号 | GA-370 |
可测量的气体种类 | CO, CO2, 和CH4 |
高纯气体种类 | N2, O2, He, Ar, H2, 空气 |
测量组分数目 | 1 组分或 2 组分 |
测量原理 | 交替流动调制方式 |
量程 | 0 to 1/2/5/10 ppm |
低检出限 (2σ) | 10 ppb |
重复性 | ≤ ± 2% F.S. |
直线性 | ≤ ± 2% F.S. |
零点量程 | ≤±0.02ppm/天，≤±0.03ppm/周 |
量程漂移 | ≤±2% F. S./天 ，≤±3%F .S./周 |
响应时间(T90) | ≤ 180s |
流量 * | 测量氧气：约 3.5 L/min；参比气体：约 3.5 L/min |
模拟输出 | 多可选两路绝缘输出 (2 组分)； |
安装环境 | 环境温度0- 40°C |
环境湿度 | ≤85% |
颗粒物 | 低于环境空气基准 |
震动 | 0.29 m/s2，频率≤100 Hz |
外形尺寸和重量 | 430(W) × 221(H) × 555(D) mm (含突起部分）；约18 kg |
电源 | 100 - 240 V AC,≤ ±10% （大电压 ：25 0V ) |
功率 | 约100 VA |
* 注 1) 参比气体和量程气由用户提供，气瓶的精度需满足测试要求。
* 注 2) GA-370 痕量气体分析仪在特殊场合下并不安全。例如，在含H2的环境中使用时需配合防爆小屋以避免爆炸。
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