日本堀场HORIBA
400μm的X射线光斑,为有害元素的控制提供了高分辨率的扫描分析,适合小到IC集成块单一引脚的分析。同时提供世界小光斑—10μm (可选配件)。
SDD检测器极大地提高了分辨率和计数率,且无需使用液氮(LN2)
无需任何样品制备或真空--样品仅需要放置在样品室中,即可在正常大气压力下分析。完全整合的软件可控制样品的移动,获取数据分析(包括定性和定量分析,并生成成分组成图像)。将样品放在样品祥中后,只需几秒钟,借助直观的“point and click”选择分析位置,即开始抓取数据。
样品观察采用同轴几何呈象,可消除视差,您可以相信,看到的样品即是测量的位置。
仪器装载了两个X射线管,从而使用户能够简单地切换显微和宏观光束,可适用于一系列实验。这些光管传递的高强度光斑确保了低的数据获取时间。而光管的单毛细管设计非常适合高强度的元素成像,甚至对于不平整样品同样有效。
通过自动采样扫描很容易获得XRF面扫描图像,样品下方的第二次信号检测能同时收集X射线透射图像。这项技术可提供额外的结构信息,极有利于对兴趣区域的定位,或了解样本的内部结构。
制造: HORIBA
型号 | XGT-5200WR |
原理 | 能量色散型X射线荧光光谱分析法 |
检测元素 | Na~U(试样在大气中) |
样品形态 | 塑料、金属、纸、涂料和油漆等的液体(液体试样容器为可选项),生物样品 |
样品室环境 | 大气 |
X射线光斑 | 10µm,50µm,100µm,400µm,1.2mm,3mm |
X射线管 | 50kV/1mA, 铑(Rh)靶材 |
一次X射线滤光片 | Ø1,2mm: 5元素滤光片(Cd/Pb/Cr/Hg/Br) |
检测器 | SDD硅漂移检测器 |
样品台 | 100mm×100mm(面扫描大尺寸), 200mm×200mm(可选) |
样品室 | 400×350×40mm(可定制特殊尺寸) |
光学成像 | 整体图像: 100mm×100mm (标准:400,000象素, 可选: 2百万象素) |
分析方法 | 定性: 自动定性功能,背景显示, ROI 颜色分辨, 匹配功能 |
数据管理(可选) | Excel® 数据管理软件,检测报告输出 |
电源 | AC100, 120, 220, 240V 50/60Hz |
重量 | 约 280kg |
外形尺寸 | 680(W)833(D)670(H)mm |
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