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为要求苛刻的高速匹配应用提供敏捷而精确的供电输出
为要求苛刻的高速匹配应用提供敏捷而精确的供电输出
Navigator® II FCi 是一种微处理器控制的独立阻抗匹配网络。这款匹配网络采用了分立固态切换电容器阵列调节的调谐元件，从而在更宽的阻抗范围内实现快速精确的调谐。这些匹配器的形状、尺寸和调谐范围与传统匹配器类似，与传统匹配网络的典型秒级范围相比，可提供毫秒范围的调谐时间。这种高速匹配技术经过优化，适用于功率敏感且持续时间短的关键等离子体工艺步骤，例如原子层蚀刻 (ALE)。
当设置为全范围调谐模式时，Navigator FCi 可覆盖的阻抗空间与真空电容匹配器完全相同。由于固体电路设计紧凑，这款匹配器的占地面积与传统版本相仿。这款匹配器不含活动机械部件，避免了传统匹配固有的磨损和漂移。这有助于在各种不断变化的高难度等离子体工艺中实现更高的可靠性和可重复性。
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