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美国Advanced Energy 远程等离子体源 Xstream

美国Advanced Energy 远程等离子体源 Xstream

品牌/型号:美国Advanced()库号:H1044513

电联
保障:含运含税正品保障质保天

美国Advanced

性能卓越的腔体清洁型高质量远程等离子体源

性能卓越的腔体清洁型高质量远程等离子体源

概述

高效的 Xstream<sup>®</sup> RPS 可对大量 NF 进行分解,3 对腔体进行快速清洁,提高机台的整体性能。其等离子体腔体采用高纯度铝合金制造,具有*冷却能力。Xstream RPS 不采用昂贵的腔体涂层,具有长达多年的免维护设计使用寿命,是用于实现可靠性和高效性能的明智之选。

优点

  • 采用定制铝合金和 Type III 硬式阳极处理,无需昂贵的腔体涂层
  • 通过可大限度降低热应力的冷却系统提高腔体性能和耐久性
  • 通过主动匹配网络提高效率并改进等离子体功率输出
  • 通过实时等离子体测量,对电源和过程进行精确控制
  • 通过*点火系统实现可靠、可重复的等离子体点火

特点

  • 高度可靠的 RPS 可大限度延长机台的正常运行时间
  • 将反应性气体有效输送到处理腔体,以提高性能
  • 配备集成主动匹配网络 (AMN) 的变压器耦合等离子体 (TCP) 源
  • 工作频率为 225 kHz 至 660 kHz
  • 8 kW/10 kW 功率型号

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全球多地设有办事处

恒仪总部设在河北保定,北京、德国、美国、香港设有办事处,产品采购售后服务更方便。

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关于恒仪

恒仪公司于2015年在北京成立,2016年公司将总部搬迁至河北保定市。2017年在美国、德国、香港、建立了办事处。通过几年发展公司的实力与规模不断壮大,如今直接通过各国办事处向全球各国品牌厂家采购工业品,包括:仪器仪表、机电设备、工控、机械、自动化等等工业品,保证了产品在质量、价格、货期、售后上的优势;[ 查看详情 ]

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