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美国Advanced Energy 射频等离子体发生器 Paramount HFi

美国Advanced Energy 射频等离子体发生器 Paramount HFi

品牌/型号:美国Advanced()库号:H1044629

电联
保障:含运含税正品保障质保天

美国Advanced

紧凑的经济型集成发生器和固态匹配射频电源系统

紧凑的经济型集成发生器和固态匹配射频电源系统

概述

Paramount® HFi 是一款适用于沉积和其他半导体等离子体工艺的集成射频电源解决方案。可电控切换的固态电容器阵列与射频功率放大器实现物理集成,提供目前紧凑的形状系数供电系统。该设计的总封装尺寸与传统射频发电装置几乎相同,通用外罩内还装有匹配网络。该匹配网络设有 32 个调谐范围档,能够在宽阻抗范围内实现可靠的射频供电。

除了尺寸减小之外,还采用固态部件替代集成匹配网络中的机械驱动式真空电容器,从而提高了可靠性和可重复性 — 这二者都是长周期重复性工艺中的关键属性。通过取消传统的独立式真空电容器匹配网络,实现了极快速调谐和直接功率调节,降低了当今短周期、多步沉积工艺的时延。

优点

  • 利用更快的调谐速度,即使在短的工艺步骤中也能实现稳定的性能
  • 采用集成封装结构,与单独发生器和匹配网络相比,可以降低成本
  • 减小多晶片室沉积系统的尺寸,节省昂贵的场地空间

特点

  • 32 调谐范围档,毫秒级切换速度,实现短工序
  • 调谐范围档可控,根据客户工艺优化阻抗范围
  • 水冷设计,无需外部换气
  • 共激机 (CEX) 模式可同步在集群结构中的多个系统
  • RS-232、以太网和 EtherCAT 通信

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