德国INFICON英福康
型号:SION™
英国英福康INFICON射频检测器
无创卡箍式射频检测仪可在 iPVD、PECVD 和蚀刻应用中实现高速电弧检测
减少晶圆损失，提高产出
等离子体加工期间的电弧放电可造成靶和腔室损坏，因而导致基材受损并形成颗粒。随着特征尺寸的下降，微电子设备越来越容易出现电弧引发的损坏。电弧放电可出现在任何等离子辅助过程中，例如电离物理气相沉积 (iPVD)、等离子增强化学气相沉积 (PECVD) 和蚀刻。INFICON Sion 弧检测器可提供至关重要的道防线。Sion 能够快速检测到微弧并在明显损伤或废料出现之前对其作出反应。系统可对等离子微电弧事件进行实时检测和分析。
全球多地设有办事处
恒仪总部设在河北保定，北京、德国、美国、香港设有办事处，产品采购售后服务更方便。
全球1000多家供应商合作
恒仪与全球超过1000家工业品供应商密切合作，产品更全。
源头采购 价格更低
恒仪直接与全球各品牌厂家采购，省去中间商、代理商差价，价格更低、产品质量有保障。综合利润不超5
经验丰富 服务更好
我们的团队核心成员均来自行业知名企业，经验超过10年，为您提供更好的服务。
正品保障 更放心
每一件产品均全球各品牌原厂采购，保证100%正品、保证质量、保证售后。拒绝任何假货、次品货。
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恒仪与国际知名物流公司合作，非限制产品，只发空运，货期更快。让客户更快拿到产品。
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