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美国Solid State Cooling Systems 水循环冷却装置ThermoRack 1201

品牌/型号：美国Solid（）库号：H10128802

￥电联

保障：含运含税正品保障质保天

美国Solid

ThermoRack 1201是一款19英寸机架式热电循环冷水机，专门用于。

半导体制造
等离子蚀刻
等离子灰
太阳能和平板显示器制造

操作范围：-10°C至80°C。
环境温度：-10°C至40°C，不冷凝
稳定性/可重复性：-±0.05°C，在恒定负载下（甚至接近环境）。
冷却能力： -高达1340瓦特@20°C的20°C设施水。
加热能力： -高达2000瓦特@20°C，20°C设施水。
冷却剂/加工液： - 乙二醇/水混合液，Fluorinert/Galden或HFE。
工艺流体接头： - 1/2" 世伟洛克。
泵： - 14 升/分钟 (3.7 克/分钟) @ 30 psig，带 HFE。
水箱容积：-5.7升（1.5加仑），带2个液位传感器。
设施用水：-4-19升/分钟(1-5加仑/分钟)@10-35°C，经过过滤、处理的再循环设施冷却水。
设施用水接头： - 1/2" 世伟洛克(316不锈钢)
N2/CDA(可选)： - 500 sccm -30°C露点或更低的CDA或N2。
30-60 psig (2-4 bar) 用于低温操作。
润物细无声。 - 工艺：铝、不锈钢和聚合物铝、不锈钢和聚合物
设施。铁氟龙浸渍阳极氧化铝。
和不锈钢
尺寸(宽x深x高)： - 19" x 24" x 8.7" 5U (48.3 x 61 x 22.1厘米)
重量：-70磅（31公斤）
电源输入：200-240 VAC 1相，50/60 Hz，*大10安培。 - 200-240 VAC单相，50/60 Hz，*大10安培。
断路器： - 16安培200-250VAC 2极，带30mA GFCI。
遥控EMO：-外部干触点
通信。 - Lam模拟、AMAT CHX和Tel Unity II
报警： - 温度、液位、系统或部件。
故障（显示屏、干触点和机器接口
标准。 - 半S2-0200，符合F47标准，CE。
TUV认证，符合UL、CAN/CSA和EN 61010-1标准。
保修：-2年