美国QUESTAR科视达
| 平台尺寸 |
1300mm x 1100mm 全自动厚度测量 |
| 测量范围 | 100A~25um亚微米级尺寸 |
| 测点尺寸 | ~0.2um x 0.2um |
| 测量速度 | 14sec/Area |
| 应用领域 | 兼容 ST6000 / ST7000 所有应用 |
| 选 件 |
自动对焦 CCD摄像头 |
| 功 能 |
Pattern Identification by Pattern Maching Entry-level CD Measurement 亚微米级尺寸表面上的薄膜厚度测量 |
全球多地设有办事处
恒仪总部设在河北保定，北京、德国、美国、香港设有办事处，产品采购售后服务更方便。
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