美国QUESTAR科视达
| 平台尺寸 | 500mm x 300mm (200mm x 200mm行程) |
| 测量范围 | 100A~50um(取决于薄膜类型) |
| 测点尺寸 |
40um/20um/10um 4um(可选) |
| 测量速度 | 1 sec/site |
| 应用领域 |
兼容 ST2000 型所有应用 & 测量更精确 测量Wafer & OLED |
| 选 件 | 可编程自动X-Y-Z平台 |
| 对 焦 | 同轴粗调及微调 |
| 入射照明 | 12V 100W卤素灯 |
全球多地设有办事处
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