美国Rigaku 质谱光谱仪AZX400

美国Rigaku

波长色散 (WD) XRF 技术可实现具有高能量分辨率的元素分析（成分和薄膜厚度）。 Rigaku AZX 400 是一款序列式 WDXRF 光谱仪，专门用于处理非常大的和/或重量的样品。 AZX 400 可接受直径 400 毫米、厚 50 毫米和 30 公斤质量的样品，非常适合分析溅射目标、磁盘，或在 Si 晶圆上进行多层薄膜测量。 AZX 400 是一款理想的研发系统，提供*广泛的分析灵活性，涵盖了从 Be 到 U 的元件范围，光点尺寸小于 0.5mm，用于空间分辨率（均匀性）测量。 可选的视频摄像机和照明系统可在 QC 或 FA 应用中查看特定的测量点。 可选的晶圆自动装载机能够处理来自 300 毫米FOUP 或 200 毫米开式磁带的多个晶圆。
特点
大样品分析高达 400 毫米（直径）、50 毫米（厚度）、30 公斤（质量）的
灵活样品适配器系统，带刀片（按订单制作）
测量点 30 毫米-0.5 毫米直径，5 步自动选择
映射功能允许检查均匀性
通用：能够 通过高分辨率、高精度 WDXRF 分析
范围广泛的成分（ppm 到百分之十）和厚度（从 å 到 mm）
软件指导用户完成测量和分析设置。
SEMI S2 和 S8 合规性以及 CE 标记
小占地面积：占地面积的 50% 模型

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