德国SmarAct 6轴定位系统TRIPOD 92-6DoF

德国SmarAct

两个TRIPOD中较大的一个与CLS-92模块系统兼容。

一个尖端倾斜平台是这个定位系统的核心部件。三个转塔的安排允许顶板在Θx的±13°、Θy的±15°范围内进行滚动和俯仰运动，并在Z方向进行10毫米的线性平移。顶板还包括一个槽，用于安装SR-4011旋转台，为设置增加第四个自由度。相反，底板允许直接安装到面包板或由两个CLS-92线性DeepL 平移组成的XY平台。后者可以产生一个5D或与SR-4011一起产生一个6D定位系统。

机械性能
行程[毫米] - 63（X）; 63（Y）; 10（Z）
行程 [- 26 (Θx); 28 (Θy); 无限 (Θz)
*大。法向力[N] - 5
*大。水平力[N] - 2.5
尺寸[毫米] - 142 x 142 x 94
地面以上的平台高度[mm] - 94
重量[g] - ~ 1850

闭环
传感器类型 - S
*小的增量[纳米] - 1
*小增量[µrad] - 1
闭环重复性，全行程MCS2 [nm] - < ± 200
闭环重复性，1毫米行程 MCS2 [nm] - < ± 10
闭环重复性，全行程MCS2 [µrad] - < ± 15

选项
真空选项 - HV (1E-6 mbar)

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