德国SmarAct 6轴定位系统TRIPOD 52-6DoF

德国SmarAct

TRIPOD 52-6DoF与CLS-52模块系统兼容，包括一个尖端倾斜台，就像其较大的同类产品TRIPOD 92-6DoF一样。

三个炮塔的安排允许顶板在Θx的±8.5°、Θy的±9.5°范围内进行滚动和俯仰运动，并在Z方向进行5毫米的线性平移。顶板包括一个SR-3211旋转平台的安装槽，为设置增加了第四个自由度。相反，底板允许直接安装到面包板或一个由两个CLS-52线性DeepL 平移组成的XY平台。后面的可能性产生一个5D或与SR-3211一起产生一个6D定位系统。

机械性能
行程[毫米] - 31（X）; 31（Y）; 5（Z）
行程[- 17（Θx）; 19（Θy）; 无限（Θz）
*大。法向力[N] - 5
*大。水平力[N] - 2.5
尺寸[毫米] - 90 x 90 x 80
地面以上的平台高度[mm] - 80
重量[g] - ~ 550

闭环
传感器类型 - S
*小的增量[纳米] - 1
*小增量[µrad] - 1
闭环重复性，全行程MCS2 [nm] - < ± 200
闭环重复性，1毫米行程 MCS2 [nm] - < ± 10
闭环重复性，全行程MCS2 [µrad] - < ± 15

选项
真空选项 - HV (1E-6 mbar); UHV / UHVT (1E-11 mbar)
无磁选项 - 是 (-NM)

联系我们