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德国SmarAct 6轴纳米定位系统SMARPOD 225.75

德国SmarAct 6轴纳米定位系统SMARPOD 225.75

品牌/型号:德国SmarAct()库号:H1025259

电联
保障:含运含税正品保障质保天

德国SmarAct

SMARPOD 225.75是基于复杂的平行运动学设计,能够处理高达10N的有效载荷。

SMARPOD 225.75是较大的SmarAct SMARPOD之一,在X和Y方向提供超过40毫米的大行程范围。作为一个选项,底板可以配备安装柱,用于在SMARPOD的移动平台附近放置工具、传感器或其他部件。
像其他SmarAct SMARPOD一样,225.75也有高真空和超高真空版本,或由完全非磁性材料制成。

机械性能
行程[毫米] - 41(X); 41(Y); 21(Z)
行程[- 20(Θx);23(Θy);41(Θz)
*大。法向力[N] - 10
*大。水平力[N] - 5
尺寸[毫米] - Ø 225
地面以上的平台高度[mm] - 75
重量[g] - 1000

闭环
传感器类型 - S; SC
*小的增量[纳米] - 1
*小增量[µrad] - 1
闭环重复性,全行程MCS2 [nm] - < ± 200
闭环重复性,1毫米行程 MCS2 [nm] - < ± 10
闭环重复性,全行程MCS2 [µrad] - < ± 15

选项
真空选项 - HV (1E-6 mbar); UHV / UHVT (1E-11 mbar)
无磁选项 - 是 (-NM)

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