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美国Advanced Energy 远程等离子体源 Rapid OX

美国Advanced Energy 远程等离子体源 Rapid OX

品牌/型号:美国Advanced()库号:H1044382

电联
保障:含运含税正品保障质保天

美国Advanced

适用于氧气类过程的远程等离子体源

适用于氧气类过程的远程等离子体源

概述

由于 Rapid OX 采用可拆卸石英内衬,可减少复合效应,延长氧自由基的寿命。与阳极氧化真空腔相比,所产生的活性反应物质寿命更长,从而提高光刻胶拨出速率。此外,由于操作员可以轻松地安装或拆卸石英内衬,停机时间得以缩短,更换成本也显著降低。

优点

  • 采用可拆卸、可更换的石英腔体,停机时间和拥有成本均大幅缩减
  • 高解离速率且产生高密度自由基,提高了过程性能
  • 通过变频调谐和精密功率控制,确保了工艺的可重复性和可控性
  • 高度可靠的腔室设计和冷却系统增加了腔室寿命,且降低了使用成本
  • 提高工具利用率,减少预防性维护,降低拥有成本

特点

  • 石英内衬理想适用于光刻胶灰化或碳质真空腔清理工艺
  • 变频匹配提高可使用的等离子阻抗范围,通过改变气体化学特征、压力和功率设置点实现控制
  • 热管理改进有助于确保真空腔体实现更长寿命
  • 利用低动态压力超调,Rapid OX 可以快速点火并达到稳态运行

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关于恒仪

恒仪公司于2015年在北京成立,2016年公司将总部搬迁至河北保定市。2017年在美国、德国、香港、建立了办事处。通过几年发展公司的实力与规模不断壮大,如今直接通过各国办事处向全球各国品牌厂家采购工业品,包括:仪器仪表、机电设备、工控、机械、自动化等等工业品,保证了产品在质量、价格、货期、售后上的优势;[ 查看详情 ]

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