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美国Advanced Energy 远程等离子体源 Litmas RPS

美国Advanced Energy 远程等离子体源 Litmas RPS

品牌/型号:美国Advanced()库号:H1044507

电联
保障:含运含税正品保障质保天

美国Advanced

可清除废气的远程等离子体源和电源系统

可清除废气的远程等离子体源和电源系统

概述

Litmas<sup>®</sup> 远程等离子体源 (RPS) 系统通过传输高浓度反应气体,深度清除氟化气体。该解决方案占地面积小、性能高、易于使用、拥有成本较低,是新建清除装置或改造现有系统的明智之选。

优点

  • 产生高浓度的反应气体,提供更高的破坏效率
  • 符合监管或绿色倡议目标的蚀刻气体清除解决方案
  • 减少沉积过程中的微粒,提高设备的使用寿命
  • 为精确过程控制提供快速匹配、稳定的功率输出
  • 采用小尺寸设计,可在现有或新建生产设施中轻松安装

特点

  • 消除温室气体排放
  • 提供市场上高的等离子体功率密度
  • 采用耐用的 SiO2 或 Al2O3 腔体材料
  • 使用获得*的 LitmasMatch™ 固态电源拓扑
  • 电源、匹配和等离子体腔体均集成在同一个设备中

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全球多地设有办事处

恒仪总部设在河北保定,北京、德国、美国、香港设有办事处,产品采购售后服务更方便。

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恒仪直接与全球各品牌厂家采购,省去中间商、代理商差价,价格更低、产品质量有保障。综合利润不超5

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关于恒仪

恒仪公司于2015年在北京成立,2016年公司将总部搬迁至河北保定市。2017年在美国、德国、香港、建立了办事处。通过几年发展公司的实力与规模不断壮大,如今直接通过各国办事处向全球各国品牌厂家采购工业品,包括:仪器仪表、机电设备、工控、机械、自动化等等工业品,保证了产品在质量、价格、货期、售后上的优势;[ 查看详情 ]

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