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低频系列具有增强电弧控制功能和内部负载匹配，适用于 40 kHz 反应溅射应用
低频系列具有增强电弧控制功能和内部负载匹配，适用于 40 kHz 反应溅射应用
低频 PEII 系列提供 40 kHz 脉冲宽度调制 (PWM)。它具有先进的电弧控制功能和内部负载匹配，通过组合多个机组，无需变压器或调谐器等外部硬件，输出功率即可达到 60 kW。这款电源还提供两种不同的电弧处理电路，浮动输出可在任何一侧接地。PEII 电源采用水冷设计，符合 CE 标准，有多种附件可供选配。
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