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适用于腔体清洁应用的高性能高可靠性远程等离子体源
适用于腔体清洁应用的高性能高可靠性远程等离子体源Advanced Energy 的 MAXstream<sup>TM</sup> 产品线是用于腔体清洁的新一代远程等离子体源。MAXstream 有适用 3、6、8、10 和 12 SLPM NF3 等多种气体流量的不同型号选择,与传统使用的系统相比,功率精度可提高多达 60%。
为确保延长腔体寿命并减少颗粒产生量,AE 推出了经过验证、独具特色的等离子体源材料和技术。新产品MAXstream 的双等离子体源引燃核心采用更完善的设计,确保了等离子引燃时的稳定性。由于每次分开出击的引燃非常稳定可靠,令整个操作能保持其稳定性,减少停机情况的出现。
MAXstream RPS 产品可以轻易插入现有的 RPS 系统之中,以确保可与现有系统无缝衔接,方便用户更新换代。
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恒仪总部设在河北保定,北京、德国、美国、香港设有办事处,产品采购售后服务更方便。
全球1000多家供应商合作
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