全球优质工业品一站式采购

恒仪多年行业经验 欢迎询价...

当前:首页 > 产品中心 > 美国Advanced Energy 远程等离子体源 MAXstream
美国Advanced Energy 远程等离子体源 MAXstream

美国Advanced Energy 远程等离子体源 MAXstream

品牌/型号:美国Advanced()库号:H1044764

电联
保障:含运含税正品保障质保天

美国Advanced

适用于腔体清洁应用的高性能高可靠性远程等离子体源

适用于腔体清洁应用的高性能高可靠性远程等离子体源

概述

Advanced Energy 的 MAXstream<sup>TM</sup> 产品线是用于腔体清洁的新一代远程等离子体源。MAXstream 有适用 3、6、8、10 和 12 SLPM NF3 等多种气体流量的不同型号选择,与传统使用的系统相比,功率精度可提高多达 60%。

为确保延长腔体寿命并减少颗粒产生量,AE 推出了经过验证、独具特色的等离子体源材料和技术。新产品MAXstream 的双等离子体源引燃核心采用更完善的设计,确保了等离子引燃时的稳定性。由于每次分开出击的引燃非常稳定可靠,令整个操作能保持其稳定性,减少停机情况的出现。

MAXstream RPS 产品可以轻易插入现有的 RPS 系统之中,以确保可与现有系统无缝衔接,方便用户更新换代。

优点

  • 支持客户根据多种流量按需选择以优化成本
  • 占地面积比 Xstream RPS 更小,为您节省宝贵的机台空间
  • 通过独特的 AE 双等离子体源引燃核心实现接近 100% 的点火可靠性
  • AE 专有高纯度铝基材采用 Type 3 阳极氧化处理,可延长腔体寿命
  • 流量能力高达 12 SLPM,清洁时间更短

特点

  • 五种型号:MAXstream 300 适合低流量应用,MAXstream 600、800、1000 和 1200 适用高流量应用
  • 高度可靠的 RPS 可大限度延长机台的正常运行时间
  • 可与传统 RPS 机组有效嵌入兼容,简化设计升级路径,提高性能表现和可靠性
  • 等离子体源腔壁采用增强冷却技术,可减少热膨胀和化学侵蚀造成的损坏
  • 主动监测和控制等离子体功率,实现行业的功率精度

联系我们

联系方式

推荐品牌

采购工业品为什么选恒仪?

youshi

全球多地设有办事处

恒仪总部设在河北保定,北京、德国、美国、香港设有办事处,产品采购售后服务更方便。

youshi

全球1000多家供应商合作

恒仪与全球超过1000家工业品供应商密切合作,产品更全。

youshi

源头采购 价格更低

恒仪直接与全球各品牌厂家采购,省去中间商、代理商差价,价格更低、产品质量有保障。综合利润不超5

youshi

经验丰富 服务更好

我们的团队核心成员均来自行业知名企业,经验超过10年,为您提供更好的服务。

youshi

正品保障 更放心

每一件产品均全球各品牌原厂采购,保证100%正品、保证质量、保证售后。拒绝任何假货、次品货。

youshi

空运直发 货期更快

恒仪与国际知名物流公司合作,非限制产品,只发空运,货期更快。让客户更快拿到产品。

youshi

技术雄厚 售后保障

恒仪设有专业的技术及售后团队,为您解决各类产品使用问题,及时为您处理售后问题,服务有保障。

youshi

一站式服务 客户更轻松

恒仪采购全程一站式服务,让客户轻轻松松获得国际优质工业品,不再担心各类采购问题。

关于恒仪

恒仪公司于2015年在北京成立,2016年公司将总部搬迁至河北保定市。2017年在美国、德国、香港、建立了办事处。通过几年发展公司的实力与规模不断壮大,如今直接通过各国办事处向全球各国品牌厂家采购工业品,包括:仪器仪表、机电设备、工控、机械、自动化等等工业品,保证了产品在质量、价格、货期、售后上的优势;[ 查看详情 ]

河北恒仪电子科技有限公司

电话:0312-6795158

邮箱:pm@hinstr.net

地址:河北省保定市莲池区瑞兴路19号

关于我们联系我们人才招聘

河北恒仪电子科技有限公司版权所有 侵权必究

河北恒仪电子科技有限公司版权所有 侵权必究!冀ICP备16029740号-8