品牌/型号:日本松定Matsusada(ECseries)库号:H1059024
日本松定Matsusada
型号:ECseries
日本松田Matsusada静电夹头电源
2ch输出,机架安装可逆式±;1千伏至±;10kV/200WEC系列是专为静电卡盘应用而开发的高压电源。卡盘开/关可通过直流开/关实现。通过反转极性,还可以顺利释放晶圆。这是一种适用于单极系统(2ch)或双极系统的有用电源。由于产品范围广,符合Johnsen-Rahbek型、Coulomb型和plusmn型;1千伏至±;10千伏。特点和好处专为静电卡盘应用而设计它有2个输出通道,适用于只有1个单元的双极系统可逆输出具有极性反转功能的晶片顺利释放结构紧凑,功率大全球多地设有办事处
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