美国omega
型号:
经济型气体质量流量控制器FMA5400,FMA5500系列
可选配一体式显示屏,用于测量洁净气体
产品描述
FMA5400/5500系列电子气体质量流量控制器可控制流速在10 SCCM到1000 SLM范围内的多种气体的流量。FMA5400/5500利用通过加热管进行的热传递直接测量气体质量流量,并且无需对(规定限值以内)的气体温度或压力变动进行补偿。该产品提供用于测量普通气体流量的经济型铝质/铜质结构,以及用于有更高耐腐蚀要求应用场合的316不锈钢结构。不带一体式显示屏的FMA5400系列控制器具有0 ~ 5 Vdc和4 ~ 20 mA模拟输出,以便进行远程监测;FMA5500系列控制器兼具一体式3½位数字显示屏和模拟输出。显示屏可倾斜90度,查看读数时很方便,显示屏还经过校准,可直接显示以SCCM或SLM为单位的氮气流速,可以通过专门订购来获得其它气体校准。
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