鸟牌bird
型号:8865SC13
1千瓦,直流至28兆赫精密射频负载
1千瓦,直流至28兆赫精密射频负载8865SC13,13.56 MHz超稳定油介质射频终端为了实现大的工艺重复性和一致性,现代等离子体应用需要精确的射频功率调节和控制。这是确保准确和安全的关键组成部分;将可重复的射频功率输送至腔室的过程包括校准、调节和校准;监测射频发生器。当与精密功率传感器(如Bird 4020系列)一起使用时,Bird现在提供超稳定、低电压驻波比负载,用于快速精确地测量发电机功率输出。8865SC13不仅提供较低的VSWR,而且在工艺临界频率下的VSWR总变化小于0.1 dB。由于校准时间长度不同,因此无需进行负载预热或重复性风险。这可以小化与该校准相关的误差,并控制一个更关键的过程变量。全球多地设有办事处
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