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英国英福康INFICONIC6薄膜沉积控制器-德国INFICON英福康

英国英福康INFICONIC6薄膜沉积控制器-德国INFICON英福康

品牌/型号:德国INFICON英福康()库号:H109594

电联
保障:含运含税正品保障质保天

德国INFICON英福康

型号:

英国英福康INFICONIC6薄膜沉积控制器

实现卓越的可重复性

功能丰富的 IC6 提供可能的佳测量精度

IC6 薄膜沉积控制器通过将 INFICON 薄膜控制器的久经考验的性能与独特的功能相结合,提供卓越的价值,所有这些都是为您从沉积过程中获得大收益而设计的。IC6 使用我们的 ModeLock 频率测量系统提供稳定、高分辨率的速率和厚度测量,具有行业的速率分辨率,即每 1/10 秒 0.00433 Å/s。没有其他石英晶体控制器具有 IC6 的性能、质量和功能,让您可以重复卓越。

 

功能

 

  • INFICON ModeLock 技术确保可用的稳定、高分辨率的速率和厚度测量,即使在非常低的速率下也是如此
  • Auto Z 通过在材料沉积时自动确定 Z 比率来提高厚度精度
  • 同时共沉积多达六个源
  • 彩色 TFT LCD 显示屏可让您轻松查看过程的进展情况
  • +/-0.0035 Hz 超过 100ms 样本
  • 用于屏幕截图、配方存储和数据记录的 USB 数据存储
  • 强大的 I/O 可以灵活地集成到简单或复杂的系统中(使用可扩展的输入(28 个)和输出(24 个继电器,14 个 TTL 输出),以及使用逻辑功能(100 个逻辑语句)
  • 6 个标准 DAC 输出,另外 6 个可选用于源控制、速率或厚度监测
  • 多可容纳 50 个流程,每个流程 200 层,流程可以链接在一起,多 10,000 层
  • 对多达 8 个传感器进行多传感器平均
  • 4 米 XIU 选项提供了在大型系统中使用长真空传感器电缆的能力
  • 可选以太网通信
  • 可选的 IC6 配置编辑器软件(部件号 781-620-G1) - 基于 LabVIEW® 的 Windows® 软件,允许离线创建和编辑 IC6 配置文件并将 IC/5 配置文件转换为 IC6 格式。
  • 符合 RoHS 标准
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