品牌/型号：Teledyne API（OG-5000系列）库号：H10669
OG-5000系列臭氧发生器是为满足半导体工业中对高浓度洁净臭氧的需求而设计的，可应用于化学气相沉积、原子层沉积、氧化物生长和湿法处理过程中。
OG-5000系列设计紧凑，使用水冷系统，能够简便的整合进TAPI的臭氧系统控制器、臭氧泄露探测器、臭氧浓度监测器和臭氧破坏器中。该仪器经过验证的技术使得它可广泛应用于半导体流程中。
Teledyne API (TAPI)设计和生产精准的空气质量监测和工业流程气体监测仪器，Teledyne API工厂位于美国加利福尼亚州圣地亚哥。Teledyne API工业气体系列产品包括IN USA和TAPI的臭氧分析仪、发生器、测量仪器和臭氧输送系统，可用于气体和溶液应用当中。这些仪器适用于许多工业流程中，例如半导体、水处理、餐饮和制药。
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