德国SIOS 激光干涉仪SP 5000 DI

德国SIOS

超稳定的差分激光干涉仪 SP 5000 DI 具有独特的热稳定性，可用于研发中的长期测量，如材料测试。
由于其设计，通过参考光束进给，测量系统可以放置在距测量位置更远的距离，而不会显著影响测量的分辨率或稳定性。 干涉仪的长度分辨率为下午 5 点，由于测量系统具有相同光束长度的差分原理，即使在正常的实验室条件下也能实现这一目标。
如果使用倾斜不变反射器进行测量，长度测量的测量范围为几米。 该系统采用模块化设计，因此可以适应特定的测量任务。
可以简单地进行调整，并具有长期稳定性。 在 SP 5000 DI 干涉仪基础上构建多轴系统，也可以进行多坐标测量。

技术数据：
• 测量范围：≤ 2 m
• 分辨率：20 pm
• 不确定性：0,1 µm/m
• 光束距离（标准）：21 mm
• 角度测量范围：±1.5 弧分
• 角分辨率：0.001 弧秒

应用：
• 差分长度和角度测量，精度*高，e.g. 用于长期材料调查和扩张测量的定位系统
• 通过校准光束距离以*高精度测量角度和倾斜度
• 可选的真空兼容设计

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