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德国SIOS 激光干涉仪SP 5000 NG

德国SIOS 激光干涉仪SP 5000 NG

品牌/型号:德国SIOS()库号:H10112545

电联
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德国SIOS

新一代激光干涉仪
用于长度测量的激光干涉仪,范围从一纳米到几米。

对移动范围超过数米的坐标测量机、机床和定位设备的精度要求越来越高,这对测量系统的验收和校准提出了挑战。在这种情况下,新一代激光干涉仪具有独特的性能,将大长度测量范围与超高的分辨率相结合。通过使用He-Ne激光器的波长作为长期稳定的测量标准,测量系统可以追溯到国家标准,因此,非常适合于计量学中的校准和任务。干涉仪的基础是SIOS Meßtechnik GmbH的单光束概念,它将整个测量范围内的出色线性与简单的校准相结合。

SP-NG系列的基本系统是基于SIOS Meßtechnik GmbH的紧凑型单光束激光干涉仪的成熟概念。这些干涉仪的不同之处在于,只有一束测量光束被测量反射器反射回自身,用于干涉长度测量。这导致了在测量对象上有一个确定的感应点。因此,可以设计计量安排,使激光束与测量轴完全对齐。这*大限度地减少了阿贝误差,而阿贝误差是所有长度测量中的一个典型误差来源。通过一个可以倾斜到±12.5°的小型反射器,可以快速、方便地校准测量装置。

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